양질의 분석데이터를 얻기 위해서는 오염없는 gas sampling이 필수적입니다.
엘제이솔루션은 다년간 축적된 경험과 노하우를 이용해 산업현장에서 다양한 gas sampling을 수행하고 있습니다. 고객의 요구에 최적화된 sampling은 물론, 다양한 압력대의 gas sampling 또한 가능합니다.
분류 | Target gas | 목적 | |
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대기 sampling | 대기 gas sampling | Noble gas(He, Ne, Ar, Kr, Xe), Impurity gas(H2, N2, O2, CO2 etc.) |
불량제품 원인규명 연구개발 제품분석 시료내부 조성확인 타제품 벤치마킹 |
대기 불순 gas sampling | Noble gas(CF6, NF3, SF6 etc.) | 저감시설 효율측정 | |
Chamber 환경분석 | N2, Ar, He | 내부환경분석 Leak측정 |
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Gas line 환경분석 | He, SF6, N2, O2, Ar, CO2 | 불순물분석 순도분석 |
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UV노광시료 | He, CH4, CO, CO2, N2, Ar | 반응가스분석 | |
기타산업 | Metal outgasing | H2, 탄화수소 | 온도에 따른 배출가스 성분분석 |
Greasing out gasing | C-F 계열 | - | |
절연유 내부가스 | H2, N2, O2, Ar, CO2 | 탈착가스분석 | |
전기분해 | H2, O2 | 반응가스 정량분석 | |
Film투과 | H2, N2, O2, Ar, CO2 | Film 내부 가스분석 | |
대기환경 | H2, N2, O2, Ar, CO2 | 대기조성 비율분석 | |
배터리 내부가스 | H2, CO2, 탄화수소 | 불순가스분석 반응발생 가스분석 |
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의료용가스 | O2, Xe | 불순가스분석 조성비율분석 |