제품명 : Analogue Mass Flow Controller & Meter

제품상세 :

Full Scale N2(SLPM) : 0.01~2,500

(2,000 SLPM 이상은 Option 사항으로 문의) 

Accuray(%FS) : +,-1.0 

Repeatability(%) : +,-0.25 

Response Tim(sec) : <2 

In/Out signal(Vdc/mA) : 0~5 or 4~20

Supply power(Vdc) : +15 or 24 

Operaing Pressure(Psia) : 5~1300 

Operating Temp.(oC) : 0~50 

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(제품) 

M3030V or VA (0.01~30 SLPM) 

MS30V (0.01~30 SLPM) 

M3100V or VA (30~100 SLPM) 

M3300V or VA (100~300 SLPM) 

M3500V or VA (300~1000 SLPM)

M3600V or VA (1000~1500 SLPM) 

M3700V or VA (1500~2000 SLPM)